一般來說，4(10)級(jí)、5(100)級(jí)垂直單向流潔凈室，其室內(nèi)的建筑裝修(墻、頂、高架地板、門窗等)，凈化空調(diào)系統(tǒng)(制冷和空調(diào)設(shè)備、凈化FFU、管道、配件、自控等)加起來的初投資大約為15000-20000元每平方，如果加上純水設(shè)備、純水系統(tǒng)，高純氣系統(tǒng)、廢氣排放系統(tǒng)、消防系統(tǒng)、供配電系統(tǒng)、真空清掃系統(tǒng)等設(shè)備和管線，其單位面積的初期投資可達(dá)30000-40000元每平方，在深圳廠房裝修中也相對(duì)甚少。

以1998年建成的上海某大規(guī)模集成電路前工序的潔凈室來說，其8時(shí)園片的月投資為30000片，中心部分潔凈室面積為10000平方米，其中ISO三級(jí)、四級(jí)垂直單向流凈化面積為4000平方米，ISO六級(jí)、七級(jí)非單向流凈化面積為6000平方米，總凈化送風(fēng)量6400000立方米每小時(shí)，除土建體外的初期投資為6000萬美元，相當(dāng)于每平方米面積的初投資為人民幣50000元每平方。

另外的案例是07年竣工的投產(chǎn)的深圳某TFT基板生產(chǎn)線，潔凈室共800平，其中ISO三級(jí)潔凈室200平，ISO四級(jí)潔凈室600平，除土建以外的潔凈室的建筑裝修、冷凍、空調(diào)、凈化、純水純氣，廢水廢氣、供配電等設(shè)備及其管線的總投資3200萬元，折合每平方米面積的初期投資為40000元平方米。

由此可看出，高級(jí)別的電子工業(yè)潔凈廠房的建造投資是非常昂貴的，如何降低建造費(fèi)用將會(huì)是以后的一個(gè)重大的課題。