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淺析半導(dǎo)體集成電路潔凈廠房要求一般水平的污染控制

作者:宏偉裝飾來(lái)源:www.a-lo.cn時(shí)間:2016-11-24 22:08:40字體:[ ]

 半導(dǎo)體集成電路潔凈廠房

     半導(dǎo)體集成電路潔凈廠房裝修工程中,一般水平的污染控制階段為吊頂板安裝之前的施工作業(yè),工作內(nèi)容如墻、地、梁面的防塵涂裝、活動(dòng)地板安裝、壁板及吊頂?shù)凝埞前惭b、空調(diào)機(jī)組安裝、動(dòng)力設(shè)備、一次配管和配線等。在建筑垃圾、粉塵清理、吹掃完畢后開(kāi)始施工,服裝、鞋具、材料必須干凈。

      一、砼結(jié)構(gòu)環(huán)氧樹(shù)脂墻、柱、梁面

    (1)檢查結(jié)構(gòu)構(gòu)件,有缺陷需先確定修補(bǔ)方法。

    (2)構(gòu)件表面清理干凈。

    (3)缺陷修補(bǔ)。

    (4)面層施工??刂撇牧吓浔群皖伾?,分遍涂裝并保證遍間時(shí)間間隔,不能出現(xiàn)流墜。

       二、 砌體環(huán)氧樹(shù)脂墻面

     (1)檢查抹灰層質(zhì)量、強(qiáng)度、干燥度,有缺陷需先確定修補(bǔ)方法。

     (2)抹灰層表面通過(guò)刮、擦或洗等方式清理表面污染物,干燥后用高壓氣體吹或吸塵器吸除灰塵。

     (3)缺陷修補(bǔ)。

     (4)面層施工??刂撇牧吓浔群皖伾?,分遍涂裝并保證遍間時(shí)間間隔,不能出現(xiàn)流墜。

       三、自流平地面

     (1)墻、柱、梁面環(huán)氧樹(shù)脂面層完成。

    (2)地面清理干凈、滿(mǎn)足要求??捎酶邏簹怏w吹掃后用真空吸塵器吸塵,但吹掃時(shí)易揚(yáng)塵,需有相應(yīng)措施控制;也可用高壓水沖洗,但要能及時(shí)排水,且需待基層干燥后才能施工面層。

      (3)試做樣板??己斯と耸┕すに嚕_定材料配比,選定面層顏色。

      (4)面層材料需滿(mǎn)足設(shè)計(jì)要求并有合格證。檢查材料的組份和配比。

      (5)面層施工前應(yīng)確定分片、分區(qū)界面并圍擋;區(qū)域封閉以防止揚(yáng)塵;配置防毒、防火設(shè)施。

      (6)施工過(guò)程控制配比稱(chēng)量準(zhǔn)確,攪拌充分,隨鋪隨刮,控制標(biāo)高。

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